改性Al2O3相关论文
CF4、NF3等全氟化合物(Perfluoro compounds)被广泛用作半导体工业的蚀刻气和清洗气,具有极高的温室效应潜值(GWP),如CF4的GWP为CO2的6......
NF3是半导体工业大量使用的清洗气和蚀刻气,SF6是现阶段最佳的气体灭弧介质,两者均有较高的温室效应潜值(GWP),如SF6的GWP为22800,寿命约......
考察了在无水条件下γ-Al2O3基金属氧化物M-Al2O3(M=Mg、La、Ba、Ce、Ni、P)与CF4反应转化为金属氟化物的反应.结果表明,在所筛选的......
全氟烃(perfluoro-carbons,简写为PFCs)气体有极高的温室效应潜值(GWP),如CF4的GWP值是CO2的6500倍,寿命长达50000年。1997年12月通过......
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