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单晶硅具备出色的机械性能和物理性能,因而被广泛应用于微/纳机电系统（MEMS/NEMS）、集成电路（IC）以及光电子器件等领域。近年来,包括光......
进入二十一世纪,纳米科技已广泛应用于军事、信息、能源、航天事业、医学等多个领域。单晶硅则因其优秀的物理、机械和电子学性能,......
摩擦诱导选择性刻蚀具有加工成本低、流程简单、低加工损伤等优势,是实现单晶硅表面微纳米结构构筑的重要途径.为探究摩擦诱导机械......
信息、生物、先进制造、新能源等高科技领域的飞速发展对微/纳加工技术及工艺提出了全新的、苛刻的要求，发展创新、高效的微纳加工......
利用摩擦诱导选择性刻蚀的方法,可在砷化镓表面加工一系列的纳米结构;该纳米加工方法无需掩膜,且加工效率高、成本低,具有应用前景......
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砷化镓因其直接能带隙和高的电子迁移率,成为目前应用最为广泛的第二代化合物半导体材料。砷化镓光电、微波及激光等元器件,在国防......
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