控制孔工艺相关论文
本论文介绍了一种新型的纳机电(NEMS)声传感器,该声传感器是基于GaAs/AlAs/InGaAs共振隧穿结构(RTS)介观压阻效应所设计的悬臂式结......
为了突破传统的机电转换效应的宏观物理局限，为更高灵敏度、更低功耗的微／纳机电压力传感器的设计提供理论、工艺及实验依据，首次设计......
提出了一种新型的基于AlAs/InxGa1-xAs/GaAs共振隧穿纳米薄膜结构的压阻式加速度计结构,运用MATLAB软件对敏感结构参数进行了计算,......
研究了一种新型的GaAs基压阻式共振隧穿微加速度计结构.该微加速度计的压敏元件采用AlAs/In0.1Gao.9As双势垒共振隧穿纳米薄膜结构......
