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振动修复相关论文
铜薄膜疲劳损伤多次振动修复方法研究
铜薄膜广泛地应用于一些大规模集成电路和微电子机械系统中。由于在服役过程中常常受到循环应力的作用而失效甚至破坏,导致较大的经......
学位
集成电路
铜薄膜
疲劳损伤
振动修复
剩余寿命
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