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抛光振子相关论文

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研制一种新型硅片边缘超声振动抛光装置,利用抛光振子超声振动所产生的能量对硅片边缘倒角斜面进行抛光加工,以达到提高硅片边缘表......

期刊

硅片边缘超声振动行波抛光振子化学机械抛光 Wafer Edge Ultrasonic Vibration Traveling Wave Polis

超声抛光振子的振动模式及其对抛光液的影响研究

兆赫频超声辅助抛光技术是一种有效改善抛光均匀性、提高硅片抛光质量的新型表面超精细加工技术。本文以兆声辅助化学机械抛光方法......

学位

兆赫频超声抛光振子耦合振动化学机械抛光抛光液流动特性

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