抗共振反射光波导相关论文
硅基光波导压力传感器是将输入压力信号转换成输出光学信号的MEMS器件,这种传感器具有灵敏度高、耐高温、抗电磁干扰能力强、防腐......
抗共振反射光波导(ARROW)具有与传统光波导所不同的传播特性.利用覆盖层的抗共振反射性质,ARROW传播单模、高阶模被泄漏到基体.基......
分析了M-Z型硅基ARROW压力传感器的结构设计参数, 并用计算机软件ANSYS对如下参数进行有限元方法(FEM) 研究,模拟了硅弹性膜片应力......
针对传统ARROW压力传感器耦合长度长以及耦合效率低,提出了BCB/SiO2双导芯层叠ARROW结构压力传感器。在外力作用下,弹性薄膜上的BC......
