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分析了M-Z型硅基ARROW压力传感器的结构设计参数, 并用计算机软件ANSYS对如下参数进行有限元方法(FEM) 研究,模拟了硅弹性膜片应力分布,确定了弹性膜边缘是传感臂具有高灵敏度的理想位置,并据此计算出由光弹性效应引起传感臂相位变化及其与压力的之间线性关系.
M-Z型硅基ARROW压力传感器设计
【摘 要】
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分析了M-Z型硅基ARROW压力传感器的结构设计参数, 并用计算机软件ANSYS对如下参数进行有限元方法(FEM) 研究,模拟了硅弹性膜片应力分布,确定了弹性膜边缘是传感臂具有高灵敏
【机 构】
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哈尔滨工业大学MEMS中心
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2003年7期
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