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在半导体生产过程中,半导体基片在生长制作时表面会存在一些细微突起的结构,这些突起的尺寸通常为微米量级,若突起的尺寸过高,在流......
我国正在研制新一代地球同步轨道三轴稳定卫星平台遥感仪器，国家已经投资的项目有风云四号气象卫星多通道扫描成像辐射计和大气垂直......
世界半导体业界受到不断进步的光学光刻技术的鼓舞，提高投影光学光刻系统的数值孔径可以满足对光刻图形的高分辨力需求。超大数值孔......
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大口径投影光学系统采用低成本、大口径菲涅耳透镜制作,可将远场散斑强度分布投影到CCD成像探测器上。通过CCD图像处理,能够对给定......
