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扫描离子束刻蚀相关论文

衍射光学元件的扫描刻蚀深度在线检测

基于楔形光学平板的等厚干涉原理,提出了一种透射衍射光学元件扫描离子束刻蚀深度的在线检测方法,用一块与被刻蚀光学元件材料相同......

期刊

刻蚀深度在线检测扫描离子束刻蚀等厚干涉衍射光学元件 etch depth on-line detection scanning ion beam e

取样光栅的刻蚀深度空间分布微调方法

研究工作主要可概括为两个部分：其一,刻蚀深度分布微调方法的理论研究和实验验证；其二,变束斑离子束修形方法的理论研究和模拟分析。......

学位

刻蚀深度分布取样光栅衍射效率均匀性扫描离子束刻蚀遮挡时间优化算法离子束修形积分刻蚀时间变束斑

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