微波共振探针相关论文
本文主要通过模拟与实验两种方法将微波共振探针的品质因子Q有效的提升。模拟中，对品质因子Q的主要从储能与损耗的能量两个方面进行......
强电负性的氟基等离子体是有望替代多晶硅电池片表面湿法制绒的干法制绒技术，然而氟基等离子体电学特性以及多晶硅干法制绒的内在机......
氟基、氯基等电负性等离子体广泛运用于刻蚀加工领域，但是电负性等离子体电子密度的测量用传统方法比较繁杂。本文主要研究了利用微......
大气压等离子体射流在材料、生物、医学等方面都有广泛的应用,但对其相关参数的测量方法却很少。本文的重点是研究使用微波共振探......
利用微波共振探针对40.68 MHz单射频容性耦合SF6、Q2、O2/Ar电负性等离子体电子密度进行了诊断测量.首先,将微波共振探针在Ar等离......
针对气压大于133Pa的气体放电时等离子体鞘层及粒子碰撞对微波共振探针密度测量的影响变大的问题，对微波共振探针模型进行了改进，推......
为提高微波共振探针测量气体放电等离子体参数的灵敏度,采用COMSOL软件仿真并比较近场场强与辐射的方法,优化了共振探针的几何结构......
使用微波共振探针对电负性NF3容性耦合等离子体的电子密度进行测量,获得在NF3等离子体容性耦合放电状态下随上下电极功率的变化规......
介绍了能够测量稳定和时变等离子体电子密度的微波共振探针，给出了其工作原理和在测量稳定、时变和瞬态等离子体电子密度中的应用。......
