介绍了在极紫外波段 ,利用帽层材料来减少多层膜反射镜因外部环境干扰而造成的反射率降低 ,使多层膜光学元件能够长时间稳定工作 .......

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由ｐ＾＋－ＧａＡｓ帽层和ｐ－ＡｌｘＧａ１－ｘＡｓ（ｘ＝０·８＝０．９）窗口层构成的异质薄膜体系是ＧａＡｓ太阳电池器件中的常规结构。对该异质结构的只腐蚀ＧａＡｓ而不腐蚀ＡｌＧａＡｓ的选择性腐蚀工艺是ＧａＡｓ太阳电池......