外延硅片相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

外延硅片相关论文

外延硅片表面时间雾的形成及其机理

在外延片的生产中，有时会遇到外延硅片在洁净室中暴露一段时间后产生雾状宏观缺陷（即所谓的时间雾）的不利情形。然而，关于外延硅片表面......

期刊

外延硅片时间雾无机组分有机组分

重掺磷直拉硅单晶中缺陷的研究

功率半导体器件在计算机、通信、消费电子和工业控制以及在电力电子等领域获得广泛的应用,它们还在节能减排中发挥着重要的作用。......

学位

直拉硅单晶外延硅片重掺磷氧沉淀氮杂质择优腐蚀

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