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垂直金属有机化学气相沉积相关论文
MOCVD反应器的数学模型及其数值模拟
以垂直金属有机化学气相沉积(MOCVD)反应器沉积GaN为对象,建立了反应器内部数学模型.模型中包括了流动、传热和传质方程.通过应用......
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