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微进给系统是精密加工和超精密加工装置和机床的关键部件,其进给精度决定精密加工和超精密加工的精度,而系统进给精度取决于微进给......
压电陶瓷驱动器具有高精度、高分辨率的优点,被广泛应用于精密微动进给平台。但压电陶瓷驱动器本身具有磁滞非线性特点,降低了微动......
针对压电陶瓷存在的迟滞特性，为提高微动台定位精度，提出一种基于双驱控制技术的双压电驱动的微进给系统。系统采用运动控制器作为控......
