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压电陶瓷驱动器具有高精度、高分辨率的优点,被广泛应用于精密微动进给平台。但压电陶瓷驱动器本身具有磁滞非线性特点,降低了微动进给平台的定位精度及快速响应能力,甚至造成系统不稳定。控制策略对微动进给平台定位精度有直接影响,通过控制策略降低压电陶瓷的磁滞特性,提高平台的动态响应性能。本文以双压电陶瓷驱动的微动进给平台为研究对象,针对压电陶瓷的磁滞特性,建立磁滞逆模型,修正系统控制电压,补偿压电陶瓷的磁滞非线性;为进一步提高进给平台的定位精度及快速响应能力,运用双驱控制技术,搭建了双压电陶瓷驱动的微动进给平