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去边宽度相关论文
衬底去边宽度对高阻厚层硅外延片参数的影响
硅外延片的参数受衬底以及外延层两方面影响,研究了衬底背面SiO2层边缘去除宽度(简称去边宽度)对高阻厚层硅外延片参数的影响.对比......
期刊
去边宽度
高阻厚层硅外延片
不均匀性
滑移线
击穿电压
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