压力-真空平衡气足相关论文
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主要介绍投影光刻机工件台的压力－真空平衡气足设计，对压力－真空平衡气足的径向压力分布、最大刚度、最佳气膜间隙以及承载能力进行了......
介绍了采用压力-真空平衡气足作支承、PTFE材料作导轨的工件台的组成,并对气足的设计计算进行了讨论.最后给出了所研究的工件台的......
