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主要介绍投影光刻机工件台的压力-真空平衡气足设计,对压力-真空平衡气足的径向压力分布、最大刚度、最佳气膜间隙以及承载能力进行了分析,并给出了气足结构参数的优化设计.
投影光刻机工作台的压力-真空平衡气足研究
【摘 要】
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主要介绍投影光刻机工件台的压力-真空平衡气足设计,对压力-真空平衡气足的径向压力分布、最大刚度、最佳气膜间隙以及承载能力进行了分析,并给出了气足结构参数的优化设计.
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所,
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2004年期
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