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耐高温高压压力传感器在航空、石油以及汽车领域的应用越来越广泛,需求也越来越大,但我国对耐高温高压压力传感器的研究相对落后,......
光纤法布里-珀罗传感器是一种体积小、结构简单、成本低、测量精度高、检测范围大的光纤传感器,易于产品化,已经被广泛用于民用工......
常见的低温共烧陶瓷(LTCC)压力传感器是基于嵌入式空腔设计的,这种设计在层压或者烧结过程中空腔上部的压力敏感膜易发生形变,形变......
鉴于传统硅基MEMS压力传感器在高温、潮湿等复杂环境中的应用具有一定的局限性，本文设计了一种SiC基无线高温压力传感器，能够克服高......
