半岛结构相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

半岛结构相关论文

一种半岛型结构谐振梁压力传感器

提出了一种新型结构压力传感器,器件由上下两硅片键合而成,上硅片制作半岛型结构氮化硅谐振梁,下硅片制作矩形压力膜.应用有限元软......

期刊

半岛结构谐振梁压力传感器微电子机械系统有限元模拟结构设计

微机械谐振梁压力传感器研究

微结构谐振式压力传感器是通过检测其机械谐振器谐振频率的变化来实现压力测量，特点是尺寸小，精度高，稳定性好，易与数字电路接口，具有广......

学位

谐振式压力传感器微电子机械低应力氮化硅谐振梁电热激励半岛结构

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