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半导体过程相关论文
基于SPA-SVDD方法对间歇过程的故障检测
针对间歇过程采集的数据具有三维矩阵数据形式采样时间不等长,不能直接适用于传统故障检测方法的问题,提出一种基于统计模量分析的......
期刊
间歇过程
统计模量分析
支持向量数据描述
半导体过程
故障检测
intermittent processstatistical patterns analysi
基于统计模量和局部近邻标准化的局部离群因子故障检测方法
针对多工况过程数据的批次不等长、中心漂移、工况结构不同等特点,提出基于统计模量和局部近邻标准化的局部离群因子故障检测方法(SP......
期刊
统计模量
局部近邻标准化
局部离群因子
多工况
半导体过程
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