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半导体过程相关论文

基于SPA-SVDD方法对间歇过程的故障检测

针对间歇过程采集的数据具有三维矩阵数据形式采样时间不等长,不能直接适用于传统故障检测方法的问题,提出一种基于统计模量分析的......

期刊

间歇过程统计模量分析支持向量数据描述半导体过程故障检测 intermittent processstatistical patterns analysi

基于统计模量和局部近邻标准化的局部离群因子故障检测方法

针对多工况过程数据的批次不等长、中心漂移、工况结构不同等特点，提出基于统计模量和局部近邻标准化的局部离群因子故障检测方法（SP......

期刊

统计模量局部近邻标准化局部离群因子多工况半导体过程

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