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半导体封装装备相关论文
基于音圈电机的频域辨识与位置/力运动控制系统设计
随着芯片产业的制程不断向前推进,芯片本身尺寸及封装尺寸越来越小,这使得芯片引脚之间的间距和焊盘的直径不断减小,对半导体封装......
学位
半导体封装装备
音圈电机
频域辨识
前馈控制
迭代学习
位/力切换
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