化学辅助离子束刻蚀相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

化学辅助离子束刻蚀相关论文

用化学辅助离子束刻蚀制作光子晶体的计算机模拟

在研究化学辅助离子束刻蚀机理的基础上，提出了一种理想状态下刻蚀光子晶体的最简单的模型，并利用 matlab 软件模拟出来。......

会议

光子晶体化学辅助离子束刻蚀计算机模拟

化学辅助离子束刻蚀实验设备设计及其机理的研究

化学辅助离子束刻蚀属于干法刻蚀的一种,可用来对物理器件进行微细加工。这种干法刻蚀方法是在真空环境中加入反应气体利用离子源......

学位

光子晶体化学辅助离子束刻蚀设计原理刻蚀机理模拟

看过本文同时还关注