加热芯片相关论文
本文针对微型生化分析仪的结构特点,设计并制作了以硅集成加热芯片为核心元件的温度控制系统。在对系统需求进行分析的基础上,完了......
聚焦离子束(FIB)制备传统截面TEM样品已有非常成熟的流程,然而在原位加热芯片上制备高质量的TEM样品仍困扰着广大从事原位实验的研究......
为实现高粘度液体的雾化,提出一种微机电系统(MEMS)单晶硅快速加热雾化芯片。对单晶硅加热芯片结构进行了设计,芯片为10 mm×1......