【摘 要】
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本文针对微型生化分析仪的结构特点,设计并制作了以硅集成加热芯片为核心元件的温度控制系统。在对系统需求进行分析的基础上,完了成了温度控制系统硬件和控制方法的总体设计。对芯片上电阻的基本排布方式进行了分析计算,并以此为基础利用PATRAN软件对其进行热场分析,从而确定了芯片的结构参数。采用MEMS技术制作了两种不同结构的加热芯片,并对其进行性能测试,结果表明:该芯片具有温度均匀性好、响应速度快、使用寿
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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本文针对微型生化分析仪的结构特点,设计并制作了以硅集成加热芯片为核心元件的温度控制系统。在对系统需求进行分析的基础上,完了成了温度控制系统硬件和控制方法的总体设计。对芯片上电阻的基本排布方式进行了分析计算,并以此为基础利用PATRAN软件对其进行热场分析,从而确定了芯片的结构参数。采用MEMS技术制作了两种不同结构的加热芯片,并对其进行性能测试,结果表明:该芯片具有温度均匀性好、响应速度快、使用寿命长的特点。以实验为基础,建立了闭环温度控制系统的数学模
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