微纳米技术及微光机电系统(Micro-Opto-Electro-Mechanical System, MOEMS)代表着未来科技的发展趋势。微驱动机构作为MOEMS的重要......

介绍了一种新型的基于非对称结构的光热微型驱动器.驱动器由两个宽细不同的薄悬臂组成.当红外激光照射在悬臂上时,宽窄悬臂的比表......

随着微电机系统（MEMS）在众多领域的广泛应用，各种形式的微型驱动器不断得到发展。介绍微尺度光热膨胀与光热微驱动的原理，设计与加工制......

光热膨胀材料的光谱特性是影响微型光热驱动机构性能的关键因素,该文在理论分析的基础上,采用单积分球测量法对四种聚合物材料的反......

用准分子加工系统制备了长度1mm的微型光热驱动器，用红光半导体激光（650nm）作为驱动源进行了驱动实验。结果表明，直接用激光束驱动可产......