体声波器件相关论文
本文报道了一种由氧化锌薄膜和多晶硅膜片构成的体声波复合谐振器的新结构，与传统制作在硅支撑膜片上的压电复合谐振器不同，多晶硅支......
本文报道了一种具有表面微机械结构的新型体声波复合谐振器。讨论了ＺｎＯ薄膜换能器的取向与体波模式机电耦合系数之间的关系；复合谐振器......
最近实验已证明,采用超晶格换能器可制作GHz频段的体声波器件.这种换能器是由多层交替结晶取向排列的ZnO或极化的LiNbO_3组成.讨论......
一种基于表面微机械和压电薄膜技术的体声波器件新结构，是在多晶硅膜片上演积氧化锌（ZnO）压电薄膜。ZnO膜是在c轴采用S枪磁控反应溅射......
压电石英晶体具有高Q值和高稳定的性能,用它作成的体声波谱振器件有十分优良的稳定频率、选择频率和传感的功能,具有损耗低、体积......
体声波滤波器由于其低插损、小尺寸、高带外抑制等特性，随着第三代移动通信以及蓝牙技术的发展而得到广泛研究，而MEMS技术和压电薄膜......
设计了一种集成的声学器件.它的基本结构是由下列3部分组成的,即换能器部分、声学开关部分和声传播介质部分,但其材料均来源于铌酸......
