主动负刚度相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

主动负刚度相关论文

基于主动负刚度原理的大型精密仪器系统隔微振技术

大型空气弹簧隔微振平台是大型超精密仪器及装备领域必不可少的核心装备,为了更好的隔离环境中的微振动干扰,需要隔振平台能够同时......

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隔微振固有频率阻尼比主动负刚度主动阻尼

基于无穷刚度和零刚度复合作用的主动负刚度隔微振技术

主动隔微振技术因其优良的低频性能而成为抑制光刻机内部微振动的核心技术之一。微振动直接影响光刻机超精密运动平台的定位精度和......

学位

光刻机隔微振主动负刚度多因素干扰直接反馈

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