中频磁控反应溅射相关论文
YBa2Cu3O7-δ(YBCO)带材具有载流水平高、不可逆场高、磁场下超导性能好、成本较低等优势,其市场潜力巨大。离子束辅助沉积(IBAD)......
学位
在这篇论文中,AlN薄膜是由中频脉冲磁控溅射制备,主要考察了不同衬底温度和退火温度对AlN薄膜结构和性能的影响,特别研究了AlN薄膜......
采用中频磁控反应溅射工艺进行了氮化铝薄膜的制备,对沉积速率、晶体结构和表面形貌与氮气流量和溅射功率之间的变化关系进行了研......
利用中频磁控反应溅射技术，以高纯～为靶材、高纯№为反应气体，在Si（111）衬底上成功制备出氮化铝薄膜。通过X衍射分析和原子力显微镜测试......
采用中频磁控反应溅射,提出了在TC4钛合金基片上制备c轴取向AlN薄膜的两步法工艺。利用扫描电镜分析（SEM）、X线衍射（XRD）、原子力显微......
