中压等离子体相关论文
同时实现高质量薄膜材料的高速、低温生长一直是工业界和学术界所追求的目标之一.高速生长的实现是降低生产成本的基础,而低温生长......
石墨烯由于优异的电子学、光学和热学等性能,因而一直以来都是研究的热点。垂直石墨烯作为石墨烯的一种特殊结构,具有巨大的表面积......
多晶硅薄膜因其独特的光学、电学性能及成本优势被认为是信息产业和太阳能光伏发电产业的关键材料。低温、快速制备高质量多晶硅薄......