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[学位论文] 作者：董克亮,
来源： 年份：2020
微米间距气体放电是放电空间距离在微米量级下的一种放电形式。随着微电子技术以及微机电系统的快速发展,其集成电路与电子工艺产品对空间距离的要求越来越高,在施加较低电压时就会产生很高的场强,很容易对这些器件造成击穿损坏。目前,对微米间距气体放电的研究......
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