大气压微米间距气体放电实验及击穿机理研究

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微米间距气体放电是放电空间距离在微米量级下的一种放电形式。随着微电子技术以及微机电系统的快速发展,其集成电路与电子工艺产品对空间距离的要求越来越高,在施加较低电压时就会产生很高的场强,很容易对这些器件造成击穿损坏。目前,对微米间距气体放电的研究还不深入,尤其是在大气压空气环境下进行微米间距放电实验的研究工作相对较少,对其放电机理尚未形成比较完整的理论,因此对大气压空气环境下微米间距气体放电的放电规律及放电特性机理的研究意义重大。本文主要对大气压空气环境下微米间距气体放电进行实验研究,并结合数值计算对
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