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[期刊论文] 作者:黄伟嘉,, 来源:电子技术 年份:2004
美通用仪器公司获得了麻省理工学院有关用 X 射线制造微电子器件的专利权。该公司将利用该专利技术发展为商品生产程序工艺,这将使元器件的尺寸缩小90%。Midea Instrument...
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