搜索筛选:
搜索耗时0.6044秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 4 篇相符的论文内容
发布年度:
[会议论文] 作者：岳双林,金爱子,顾长志,
来源：第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：2005
利用纳米孔研究DNA生物大分子是一个非常活跃的研究领域.由于聚焦离子束在微纳加工方面的独特优势,可以被用来加工这种纳米孔.为了控制加工的可重复性,本文对不同离子束流以及点覆盖率和点停留时间加工绝缘材料Si3N4的实验条件进行摸索,结果发现采用增强刻蚀模......
[会议论文] 作者：杨海方,金爱子,罗强,顾长志,
来源：第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：2005
本文对正性电子束抗蚀剂ZEP-520低能(0.5kev～2keV)电子束曝光特性进行了系统的研究.利用180nm厚的ZEP-520抗蚀剂,研究了低能范围电子穿透深度及曝光特性与电子束能量的关系.发...
[会议论文] 作者：罗强,金爱子,杨海方,顾长志,
来源：第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：2005
聚焦离子束技术常被用于集成电路的修整与失效分析,通过切断某些金属连线和诱导沉积新的金属连线来测试所设计电路的特性.在低维材料的电输运性质研究中,它也常被用于制作微电极.因此,在这些应用中,采用聚焦离子束诱导沉积的金属本身的电学性质变得比较重要.在......
[期刊论文] 作者：刘首鹏,周锋,金爱子,杨海方,马拥军,李辉,顾长志,吕力,姜博,郑泉水,王胜,彭练矛,
来源：物理学报 年份：2005
采用不同的方法裁剪高定向热解石墨(HOPG),制备纳米尺寸的石墨条.首先,发现用聚焦离子束(镓离子)刻蚀高定向热解石墨,可以得到边缘整齐程度在几十纳米的石墨条,另外,用电子束...
相关搜索：
