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[学位论文] 作者：肖志鸿,
来源： 年份：2014
终端光学组件位于神光-Ⅲ装置的末端，是惯性约束核聚变激光装置的核心单元之一，但是在装置使用过程中，发现组件表面污染严重。污染物的一个重要来源是切削液中的成分在工件加工过程中残留在工件表面上。污染物的存在一方面会严重影响组件内的通光质量和通光强度，制......
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