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[学位论文] 作者：秦聪祥,
来源：广东工业大学 年份：2006
本文采用电弧离子镀技术,制备了(Ti1-x-yAly Six)N和(Zr1-xAlx)N薄膜,利用扫描电镜（SEM）能谱分析（EDS）X射线衍射（XRD）,显微硬度计,分析天平等技术和设备对薄膜进行了结构和形貌表征...
[期刊论文] 作者：秦聪祥,曾鹏,胡社军,汝强,,
来源：钛工业进展 年份：2006
分别利用真空电弧沉积技术与等离子体辅助真空电弧沉积技术在不锈钢片、高速钢片和单晶硅片上沉积TiAlSiN多元薄膜，通过X射线衍射和扫描电镜对采用两种方法制备的薄膜物相及表...
[期刊论文] 作者：秦聪祥,曾鹏,胡社军,汝强,吴键,,
来源：电镀与涂饰 年份：2006
利用等离子体辅助电弧沉积技术制备了不同成分的TiAlSiN多元薄膜，并研究了Si含量对薄膜组织结构、显微硬度和耐磨性的影响。XRD物相分析表明：薄膜主要由AlN和TiN组成。随着膜层...
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