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[学位论文] 作者:王存勇, 来源:中国科学技术大学 年份:1997
[期刊论文] 作者:王存勇,温晓辉, 来源:真空科学与技术 年份:1999
以纯铁和38CrMoAl为例给出了用电子回旋共振微波等离子体氮化的实验结果,并给出了气体成分及配比,时间,温度,偏压等工艺参数对氮化结果的影响,指出在0.1Pa的工作气压下,采用N2-H2混合气体,样品温度接近......
[会议论文] 作者:王存勇,詹如娟, 来源:中国核学会核聚变与等离子体应用学术讨论会 年份:1998
该文以纯铁和38CrMoA1为例给出了用电子回旋共振微波等离了体氮化的实验结果,结果指出即使在10Pa的工作气压下,采用N-H混合气体,仍然可在样品表面形成氮化层,使样品表面硬度显著......
[期刊论文] 作者:王存勇,温晓辉,朱晓东,詹如娟, 来源:真空科学与技术 年份:1999
以纯铁和 38CrMoAl为例给出了用电子回旋共振微波等离子体氮化的实验结果 ,并给出了气体成分及配比、时间、温度、偏压等工艺参数对氮化结果的影响。指出在 0 1Pa的工作气...
[期刊论文] 作者:詹如娟,汪学毅,温晓辉,王存勇,朱小东, 来源:真空科学与技术 年份:1998
着重介绍采用一段真空波导耦合的ECR微波等离子体装置,以及在CH4-H2混合气体放电情况下,诊断了内部等离子体参数,给出了等离子体密度、电子温度、基板鞘附近的空间电位以及在类金......
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