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[期刊论文] 作者：王友年,李宏伟,
来源：物理学报 年份：2004
研究了快速双原子分子离子在固体中穿行时,尾流效应对各离子电荷态以及库仑爆炸过程的影响.借助于线性介电响应理论和局域介电函数,离子之间的动力学相互作用势可以表示成对...
[期刊论文] 作者：芦岩,王友年,,
来源：物理学报 年份：2004
对于大多数活性射频等离子体刻蚀工艺,由于放电室中两个电极的面积不等,使得两个电极附近的等离子体鞘层是非对称性的.考虑离子与中性粒子的碰撞效应,建立了一种描述这种非对...
[期刊论文] 作者：李雪春,王友年,
来源：物理学报 年份：2004
针对等离子体浸没离子注入技术在绝缘体表面制备硅薄膜工艺,采用一维脉冲鞘层模型描述介质靶表面的充电效应对鞘层厚度、注入剂量及靶表面电位等物理量的影响.数值模拟结果表...
[期刊论文] 作者：侯璐景,王友年,
来源：物理学报 年份：2004
一种自洽的理论模型用于研究尘埃颗粒在射频鞘层中垂直方向的非线性共振现象.利用射频鞘层动力学模型,研究了鞘层电场和尘埃颗粒的充电过程.考虑作用在尘埃颗粒上的各种作用...
[期刊论文] 作者：王桂秋,王友年,
来源：物理学报 年份：2004
利用线性化的流体力学方程和泊松方程,描述了在强激光场作用下快速分子离子在固体中产生的电激发过程,并推导出分子离子中两个离子之间的动力学相互作用势和相互作用力的一般...
Two-Dimensional Fluid Simulation of Collisional Plasma sheath over rf Powered Electrode with Cylindr
[期刊论文] 作者：侯璐景,王友年,Z.L.Miskvic,
来源：黑龙江科技学院学报 年份：2004
为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7...
[期刊论文] 作者：戴忠玲, 王友年, 马腾才,,
来源：物理学报 年份：2004
在流体力学方程的基础上建立了一种自洽的无碰撞射频等离子体鞘层动力学模型 .这种自洽性包含两个方面 :一方面 ,由于考虑了瞬时鞘层电场对离子运动的影响 ,因此该模型适用于...
[会议论文] 作者：宋远红, 徐翔, 王友年,,
来源： 年份：2004
平行板式的低气压容性耦合等离子体源(Capacitively Coupled Plasma,CCP)由于设备结构简单,空间均匀性好等特点,已广泛地应用于材料表面处理工艺中,如半导体芯片刻蚀及薄...
[期刊论文] 作者：丁振峰, 霍伟刚, 王友年,,
来源：核聚变与等离子体物理 年份：2004
采用调节射频电感性耦合等离子体中基片电极与地之间的外部电路阻抗的方法,控制基片电极的射频自偏压.研究了调谐基片自偏压随外部调谐电容值的变化特征,得到了调谐基片射频...
[期刊论文] 作者：Gao Fei,毛明,Ding Zhen-Feng,王友年,
来源：物理学报 年份：2004
分别通过Langmuir探针测量和动力学模型模拟方法研究了射频感应耦合Ar-N2等离子体中电子能量分布、电子温度、电子密度等物理量随N2含量的变化规律.实验研究结果表明:电子能...
[期刊论文] 作者：丁振峰,霍伟刚,王友年,
来源：等离子体科学和技术（英文版） 年份：2004
The radio frequency (rf) self-bias of the substrate in a rf inductively coupled plasma is controlled by means of varying the impedance of an external LC network...
[会议论文] 作者：张赛谦, 杨雪, 戴忠玲, 王友年,,
来源： 年份：2004
原子层刻蚀(ALE),是与原子层沉积(ALD)相对的反应,通过自限制的去除表面最外层分子,实现原子/分子层精度的刻蚀。随着近年来半导体微电子制造中刻蚀槽(沟)深宽比的进一步增大...
[期刊论文] 作者：于红,张家良,任春生,王友年,马腾才,
来源：真空科学与技术学报 年份：2004
光学发射光谱(OES)方法是等离子体诊断的有力工具之一,可以定量地给出等离子体的多种重要参数,如等离子体中的物种成分、粒子能态分布、激发温度、粒子相对密度等.本文介绍了...
[期刊论文] 作者：齐冰,任春生,马腾才,王友年,王德真,
来源：物理学报 年份：2004
利用多针电晕增强放电装置,在无气流和存在高速气流的情况下都得到了稳定的大气压辉光.通过纪录发光图片、电流-电压波形和伏安特性曲线的方法对影响放电稳定性的因素做了细...
[期刊论文] 作者：王久丽,张谷令,王友年,刘元富,刘赤子,杨思泽,
来源：科学通报 年份：2004
综述了近年来国内外对等离子体源离子注入离子鞘层理论研究的进展情况. 介绍了研究离子鞘层扩展动力学所常用的几种计算方法并通过比较指出了其各自的优缺点及适用条件. 通过...
[期刊论文] 作者：王久丽 张谷令 王友年 刘元富 刘赤子 杨思泽,
来源：科学通报 年份：2004
摘要 综述了近年来国内外对等离子体源离子注入离子鞘层理论研究的进展情况. 介绍了研究离子鞘层扩展动力学所常用的几种计算方法并通过比较指出了其各自的优缺点及适用条件. 通过对一些计算结果的分析指出了在PSII实验中常见的样品表面离子注入不均匀等问题出......
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