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[期刊论文] 作者：李拴庆,
来源：仪器仪表学报 年份：1996
本文简要介绍了微机电系统制作用的基本腐蚀技术，包括各向同性腐蚀，各向异性腐蚀、牺牲层腐蚀、干法腐蚀、ＨＦ阳极腐蚀等。重点介绍了为制作三维微结构而开发出的ＬＩＧＡ工艺、磁控反应离......
[期刊论文] 作者：李拴庆,
来源：半导体情报 年份：1998
介绍了无铝激光器、宽波导激光器、展宽条形激光器及其它类型激光器、ＧａＮ基激光器 分布反馈激光器的发展现状。...
[期刊论文] 作者：李拴庆,付士萍,
来源：半导体技术 年份：2001
概述了微电子机械系统(MEMS)的特点、理论和技术基础。详细介绍了微型传感器、微型执行器、微型光机电系统(MOEMS)、微型生物化学芯片、微型机器人、微型飞行器、微型动力系...
[期刊论文] 作者：李拴庆,周立军,
来源：半导体情报 年份：1999
回顾了微机械加工技术的最新进展，介绍了自由空间微型光学试验平台和光预对准的概念以及微机械加工的光学器件实例。...
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