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本文简要介绍了微机电系统制作用的基本腐蚀技术，包括各向同性腐蚀，各向异性腐蚀、牺牲层腐蚀、干法腐蚀、ＨＦ阳极腐蚀等。重点介绍了为制作三维微结构而开发出的ＬＩＧＡ工艺、磁控反应离子腐蚀、深冷干法腐蚀、干法分离、ＩＨ工艺和ＳＣＲＥＡＭＩ等三维加工技术。最后给出了个别加工、键合及ＭＥＭＣＡＤ等不可缺少的微机械微米／纳米加工技术。