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[期刊论文] 作者:陈刚,秦宇飞,柏松,李哲洋,韩平,, 来源:固体电子学研究与进展 年份:2009
研究了4H—SiC低缺陷密度外延层的制造和Ni/SiC肖特基势垒二极管的正、反向电学特性。采用了偏8°4H—SiC衬底上台阶控制外延方法进行同质外延,外延温度1580℃,最后得到了低...
[期刊论文] 作者:陈刚,柏松,李哲洋,吴鹏,陈征,韩平,, 来源:Chinese Physics B 年份:2009
In this paper we report on DC and RF simulations and experimental results of 4H-SiC metal semiconductor field effect transistors (MESFETs) on high purity semi-i...
[期刊论文] 作者:柏松,陈刚,吴鹏,李哲洋,郑惟彬,钱峰,, 来源:中国电子科学研究院学报 年份:2009
利用本实验室生长的4H—SiC外延材料开展了SiCMESFET和MMIC的工艺技术研究。研制的SiCMESFET采用栅场板结构,显示出优异的脉冲功率特性,20mm栅宽器件在2GHz脉冲输出功率达100W...
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