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[期刊论文] 作者:曹志锡,汪小洪,袁巨龙, 来源:中国机械工程 年份:2003
以合成氨生产中的醋酸铜氨液压力能回收为突破口,研制了一种新型液体压力能回收装置,提出了高压废铜液压力能回收的新的技术路线,研制的回收装置已在合成氨生产线上得以应用....
[期刊论文] 作者:邢彤,袁巨龙,赵文宏,曹志锡, 来源:机械工程师 年份:2003
采用化学机械抛光方法,在新型智能抛光机上用自制的抛光液对铌酸锂晶片进行抛光。结果证明选择适当的参数后可以得到一种超平滑表面,几乎无损伤层,且有较高的面形精度和加工...
[期刊论文] 作者:邢彤,袁巨龙,赵文宏,曹志锡, 来源:机械工程师 年份:2003
在铌酸锂晶片的化学机械抛光过程中,许多参数会在根本上影响CMP的化学和机械作用,但是把某一参数简单地归类于化学参数或机械参数都是不恰当的,文中分析了这些参数以及如何控...
[期刊论文] 作者:曹志锡, 汪小洪, 赵文宏, 徐新中, 郑积林, 鲍金禄,, 来源:浙江工业大学学报 年份:2003
从合成氨精炼工段的工艺,介绍了废铜液压力能回收的可能性,提出了一种液体压力能回收的新的技术路线,据该术设计的机器已在合成氨生产中得以应用....
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