论文部分内容阅读
在铌酸锂晶片的化学机械抛光过程中,许多参数会在根本上影响CMP的化学和机械作用,但是把某一参数简单地归类于化学参数或机械参数都是不恰当的,文中分析了这些参数以及如何控制这些参数来影响CMP过程.
铌酸锂晶片CMP过程的工艺参数研究
【摘 要】
：
在铌酸锂晶片的化学机械抛光过程中,许多参数会在根本上影响CMP的化学和机械作用,但是把某一参数简单地归类于化学参数或机械参数都是不恰当的,文中分析了这些参数以及如何控
【机 构】
：
浙江工业大学
【出 处】
：
机械工程师
【发表日期】
：
2003年7期
其他文献
介绍了哈尔滨量具刃量厂与哈尔滨工业大学联合开发的七轴联动并串联机床的结构方案及性能指标.该机床具有七自由度,双平台,可实现空间任意复杂形状的曲面加工.