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[期刊论文] 作者：葛亮,胡成,朱志炜,张卫,吴东平,张世理,,
来源：半导体学报 年份：2012
We report Pt deposition on a Si substrate by means of atomic layer deposition(ALD) using(methylcyclopentadienyl) trimethylplatinum(CH_3C_5H_4Pt(CH_3)_3) and O_2...
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