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[期刊论文] 作者：张广安,王立平,刘千喜,薛群基,,
来源：摩擦学学报 年份：2011
采用反应磁控溅射法制备了CrN、CrSiN与CrAlN复合薄膜,分析了复合薄膜的微观结构,并考察了3类薄膜的摩擦磨损性能.结果表明:所制备的薄膜晶体结构没有随着Si或Al的加入发生转...
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