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[期刊论文] 作者：谭鑫,刘颖,刘正坤,付绍军,
来源：功能材料与器件学报 年份：2009
介绍了软X射线光栅分束镜Mach—Zehnder干涉等离子体诊断系统调整用双频光栅线条平行度的衍射法测量系统。该系统主要由激光器，准直镜，待测光栅，精密转台（含角度测量仪），直线工作台......
[期刊论文] 作者：谭鑫,刘颖,刘正坤,付绍军,,
来源：功能材料与器件学报 年份：2009
介绍了软X射线光栅分束镜Mach-Zehnder干涉等离子体诊断系统调整用双频光栅线条平行度的衍射法测量系统。该系统主要由激光器,准直镜,待测光栅,精密转台(含角度测量仪),直线...
[期刊论文] 作者：谭鑫,刘颖,徐向东,洪义麟,付绍军,,
来源：光学精密工程 年份：2009
利用全息-离子束刻蚀工艺制作了工作波长为13．9nm的Laminar分束光栅。光栅的线密度为1000lp／mm，槽深13nm，占宽比0．43，Au膜厚度为40nm左右；当工作波长为13．9nm，入射角为81．2°时，其0......
[期刊论文] 作者：贺胜男,刘颖,周洪军,霍同林,付绍军,
来源：核技术 年份：2009
为抑制合肥同步辐射装置U26光束线掠入射单色仪真空紫外波段的高次谐波，在45-115nm波段研究了Si和Al的反射率特性，结果表明：确定的入射角下，Si和Al的反射率随波长的变化有明显的......
[期刊论文] 作者：尉伟,吴晓伟,吕凡,肖云峰,付绍军,裴元吉,韩正甫,,
来源：中国科学技术大学学报 年份：2009
XeF2是一种可以在常温下与硅发生反应的气体，可用作对硅进行干法刻蚀的工作气体，其对硅刻蚀特性呈现各向同性．研制了一个使用脉冲法对二氧化硅／硅体系进行XeF2刻蚀的系统，刻蚀系统......
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