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[期刊论文] 作者:王学亮,巩岩,, 来源:光子学报 年份:2012
针对压电陶瓷在光刻机投影物镜中作为像质补偿镜组促动器的特定应用要求,对一种以集成运算放大器构成的压电陶瓷驱动器的动态性能进行了研究.首先,针对驱动器系统中集成运放...
[期刊论文] 作者:袁文全,巩岩,, 来源:光学学报 年份:2011
为了对光刻物镜的像差进行补偿,设计了一种主动液体透镜,并分析了该主动液体透镜变形过程中的像差变化特性。用去离子水、氟化锂设计了一种主动液体透镜,在考虑重力及静水压...
[期刊论文] 作者:赵阳, 巩岩, 胡宜宁,, 来源:光电工程 年份:2009
针对高分辨力CCD探测器(1 k×1 k,6.3μm×6.3μm),确定了一个可见光波段连续变焦光学系统,传递函数(MTF)接近衍射极限。本文通过公差分析可知前固定组和变倍组的公差灵敏度...
[期刊论文] 作者:巩岩,胡宜宁,赵阳,, 来源:光学精密工程 年份:2007
提出了基于数字光处理(DLP)技术的星模拟器系统的技术方案。根据星模拟器技术指标,确定了总体光学结构;在确定数字微镜元件(DMD)芯片规格的基础上,计算出星模拟器光学系统的焦距、单......
[期刊论文] 作者:李春才,巩岩,, 来源:光学精密工程 年份:2015
基于双相位编码光学联合变换相关技术提出了一种测量透镜中心偏差的方法以确定偏差方向并提高测量精度。在经典联合变换相关原理基础之上,使用两个相位函数分别对参考图像和...
[期刊论文] 作者:巩岩,张蕴璟, 来源:中国超声医学杂志 年份:1991
采用诊断超声强度经腹部辐照宫腔.取早孕蜕膜,检测其中的免疫活性细胞,以探讨超声波对早孕蜕膜中免疫活性细胞的影响。结果表明:诊断超声强度未能影响早孕蜕膜中T淋巴细胞及...
[期刊论文] 作者:胡文波,巩岩,, 来源:激光与光电子学进展 年份:2015
针对荧光偏振免疫分析仪对光源的需求,提出使用发光二极管(LED)作为激发光源并设计了口径小、结构紧凑且准直度高的配光系统。根据LED的发光特性,采用折射自由曲面和反射自由...
[期刊论文] 作者:倪明阳,巩岩,, 来源:中国光学 年份:2012
为了实现曝光工作过程中深紫外投影光刻物镜的动态稳定性,设计了一种能够消除温度和应变影响的光学元件运动学支撑结构,研究了如何利用该支撑结构消除温度变化和外界应变对光...
[期刊论文] 作者:李顺,巩岩,张巍,, 来源:光电工程 年份:2010
为了能够全面评价掠入射光学系统的成像质量,基于像差理论和傅里叶光学原理,使用Matlab编程语言编写了针对掠入射系统的像质评价程序,并利用此程序结合ZEMAX软件对用于太阳观测......
[期刊论文] 作者:袁文全,巩岩,, 来源:光机电信息 年份:2011
精密气动定位系统具有高精度、高速、大行程、传动平稳、使用费用低等优点,目前广泛地应用于光刻、数控机床等诸多精密工程领域。本文按照时间顺序介绍了精密气动定位系统的...
[期刊论文] 作者:刘明俊,巩岩, 来源:中国法医学杂志 年份:1994
使用6个单位点探针,用Southern印迹杂交技术研究了国人的D2S44,D17S79,D14S13,D14S1,DXYS14及D18S27等位点的基因频率分布。发现它们的DNA指纹图均具高度多态性,等位基因数27~107个...
[期刊论文] 作者:赵磊,巩岩,赵阳, 来源:光学精密工程 年份:2013
针对光刻投影物镜中透镜X-Y调整机构调整量程小、调整精度高的特点,提出了一种基于柔性铰链的X-Y微动调整机构,并将其应用在光刻投影物镜模型中进行了实验验证。首先,基于机...
[期刊论文] 作者:张海明,巩岩, 来源:电子对抗 年份:2000
介绍了一种毫米波弹载雷达目标与干扰综合信号模拟器的工作原理和设备组成。给出了多普勒频率,回波功率,距离延迟脉冲和多普勒频率变化等目标信号的设计结果,同时也提供了噪声干......
[期刊论文] 作者:巩岩,党亚民,, 来源:北京测绘 年份:2010
电离层延迟是影响全球卫星导航系统精密定位的主要误差源之一。本文介绍了常用的NeQuick模型和IRI模型,利用两模型进行了中国地区电离层TEC相关计算,将计算值与电离层参考值进行比较,得出了关于区域电离层TEC的有益结论。......
[期刊论文] 作者:李顺,巩岩,张巍, 来源:光学技术 年份:2004
在软X射线掠射光学系统筒状反射镜的加工过程中,根据对反射镜内表面镍磷合金镀层的质量要求,采用镍盐还原法对筒状微晶玻璃反射镜的内表面进行了活化,并对在含有30g/L NiSO4...
[期刊论文] 作者:倪明阳,巩岩, 来源:红外与激光工程 年份:2004
在深紫外光刻投影物镜的研制中,彗差和像散的补偿主要依靠光学元件的偏心调整机构.分析其工作原理及传动比特性:首先采用速度瞬心法推导传动比理论计算公式;然后建立偏心调整...
[期刊论文] 作者:倪明阳,巩岩,, 来源:红外与激光工程 年份:2012
在深紫外光刻投影物镜的研制中,彗差和像散的补偿主要依靠光学元件的偏心调整机构。分析其工作原理及传动比特性:首先采用速度瞬心法推导传动比理论计算公式;然后建立偏心调...
[期刊论文] 作者:袁文全,巩岩,, 来源:中国激光 年份:2012
提出了一种超越型函数,用来描述激光强度分布,并给出了这种函数的拟合方法。该超越型函数是基于高斯类分布函数提出的,并根据多变量寻优的方法,采用方向搜索法及最小二乘法对...
[期刊论文] 作者:王维彬,巩岩博, 来源:推进技术 年份:2021
系统性地回顾了长征五号运载火箭芯一级50t级氢氧火箭发动机YF-77的设计与研制历程。通过分析氢氧发动机的特点以及国内外氢氧发动机的发展现状,阐述了国内新一代运载火箭研发的技术路线和50t级氢氧火箭发动机的研制背景;对50t级氢氧火箭发动机的总体技术方案及......
[期刊论文] 作者:姚长呈,巩岩,, 来源:光学学报 年份:2016
高精度光刻投影物镜在工作过程中吸收激光能量产生热像差,在离轴照明模式(如偶极照明)下,热像散显著且随时间变化,传统的被动光学方法无法补偿此类像差。提出在折射式光刻投...
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