软X射线掠射筒状反射镜镀镍磷合金的研究

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在软X射线掠射光学系统筒状反射镜的加工过程中,根据对反射镜内表面镍磷合金镀层的质量要求,采用镍盐还原法对筒状微晶玻璃反射镜的内表面进行了活化,并对在含有30g/L NiSO4·6H2O、30g/L NaH2PO2·H2O、25g/L Na(CH3COO)·4H2O、18g/L C6H8O7、10mg/L添加剂的镀液中沉积镍磷合金镀层的工艺方法进行了探索.对得到的镍磷合金镀层的结合力、抗腐蚀能力等进行了测试.结果表明,采用此法镀制的镍磷合金镀层结合力达到4B级,耐蚀性好,能够满足光学精密抛光的要求.
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