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[期刊论文] 作者：王亮,赵永梅,宁瑾,孙国胜,王雷,刘兴坊,赵万顺,曾一平,李晋闽,,
来源：半导体学报 年份：2008
介绍了一种微机械叉指静电驱动折叠悬臂梁谐振器的设计和制作方法.将Rayleigh分析法和有限元分析法结合起来分析调整器件尺寸和材料参数对器件性能的影响.制作了三种不同悬臂...
[会议论文] 作者：巩全成,宁瑾,孙国胜,高见头,王雷,李国花,曾一平,李晋闽,李思渊,
来源：第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：2005
本文采用ICP等离子体刻蚀工艺,以CHF3、SF6和O2作为刻蚀气体,对生长在SiO2上的多晶3C-SiC膜进行了刻蚀工艺研究,得出来优化的刻蚀条件,该刻蚀条件具有较快的刻蚀速率并且可以获得较陡直的侧墙.不同的刻蚀气体对刻蚀速率有明显的影响,用纯CHF3或CHF3与O2的混合气......
[期刊论文] 作者：杨挺,孙国胜,吴海雷,闫果果,宁瑾,赵永梅,刘兴昉,罗木昌,王雷,
来源：微纳电子技术 年份：2010
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[会议论文] 作者：刘兴昉,李晋闽,孙国胜,赵永梅,宁瑾,蔡淑娴,王亮,王雷,赵万顺,曾一平,
来源：第十五届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 年份：2007
提出了一种用于MEMS的硅基碳化硅微通道(阵列)及其制备方法，它涉及半导体工艺加工硅晶片和化学气相沉积方法制备碳化硅。首先在硅衬底上用半导体工艺刻蚀出凹槽微结构，凹槽之间留出台面，凹槽和台面的几何尺寸(深度、宽度、长度)以及它们的分布方式根据需要而定。此......
[会议论文] 作者：刘兴昉,曾一平,孙国胜,李晋闽,赵永梅,宁瑾,王雷,赵万顺,罗木昌,李家业,
来源：第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议 年份：2006
本文制备了4种具有不同光窗口台面结构的4H-SiC紫外探测器1、＃2、＃3和＃4并分别测试了它们的紫外光响应谱.器件制备在4H-SiC同质外延层上,台面为垂直结构,其中探测器＃1光窗口区由透明Pt层、p+层、p层、n-层和n+衬底组成,在探测器＃1的基础上用离子刻蚀的方法分别剥离透......
[期刊论文] 作者：杨挺,孙国胜,吴海雷,闫果果,宁瑾,赵永梅,刘兴昉,罗木昌,王雷,赵万顺,曾一平,,
来源：微纳电子技术 年份：2010
主要介绍了近年来国内外出现的有市场推广潜力的立方相碳化硅(3C-SiC)MEMS器件,详细描述了其中一些典型器件的基本结构、加工工艺及初步测试结果,并指出了要想提高器件的可靠...
[期刊论文] 作者：孙国胜,刘兴昉,王雷,赵万顺,杨挺,吴海雷,闫果果,赵永梅,宁瑾,曾一平,李晋闽,,
来源：Chinese Physics B 年份：2010
Epitaxial growth of semiconductor films in multiple-wafer mode is under vigorous development in order to improve yield output to meet the industry increasing de...
[期刊论文] 作者：刘兴昉，孙国胜，李晋闽，赵永梅，宁瑾，王雷，赵万顺，罗木昌，李家业，曾一平，LiuXingfang，SunGuosheng，LiJinmin，ZhaoYongmei，NingJin，WangLei，ZhaoWanshun,
来源：城市道桥与防洪 年份：2007
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
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