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[期刊论文] 作者:张通和,吴瑜光, 来源:核技术 年份:1998
着重分析了离子注入提高离子束加工效益的途径,离子束工业生产发展现状和未来离子束技术在国民经济中的重要作用。...
[期刊论文] 作者:张通和,吴瑜光, 来源:核技术 年份:2000
用大束流密度的钼金属离子注入硅,能够直接合成性能良好的薄层硅化物。随着束流密度的增加,硅化钼生长,薄层硅化物的方块电阻Rs明显下降,当束流密度为0.5A/m^2时,Rs达到上值90Ω,说明连续的硅化物......
[期刊论文] 作者:张通和,黄华鹏, 来源:核技术 年份:1994
大剂量Ti+、C+和Ti++C+注入H13钢可使注入层硬度和抗磨损寿命明显增加,尤以Ti++C+双注入效果最佳.实验结果表明注入的Ti和C原子浓度可分别达到22%和45%;超饱和Ti和C浓度形成了固溶强化;注入层中已形成弥散的硬化相......
[期刊论文] 作者:周固,张通和,张旭, 来源:北京师范大学学报(自然科学版) 年份:2002
在高能电子束辐照下,玻璃表面首先形成突起,在以后的辐照下以扩散限制凝聚的形式在无序态突起上生长出长度在十几到几百nm的树枝状玻璃纳米须,并沿玻璃法线方向生长.这一电子...
[期刊论文] 作者:张通和,吴瑜光, 来源:半导体学报 年份:2004
用金属蒸发真空弧离子源注入机将Y离子注入硅,制备出特性良好的硅化物.用掠角沟道技术和透射电子显微镜分析了这种硅化物的结构.用束流密度为25μA/cm2的Y注入硅可形成三层结...
[期刊论文] 作者:张通和,吴瑜光, 来源:功能材料 年份:2000
用大束流密度的钇金属离子注入硅 ,能够直接合成性能良好的薄层硅化物。随束流密度的增加 ,硅化钇生长 ,薄层硅化物的方块电阻Rs 明显下降 ,当束流密度为 0 .5A/m2 时 ,Rs达...
[期刊论文] 作者:张通和,吴瑜光, 来源:微细加工技术 年份:2000
用大束流密度的钒金属离子注入硅,能够直接合成性能良好的薄层硅化物.随束流密度的增加,硅化钒相生长,薄层硅化物的方块电阻Rs明显下降,当束流密度为25μA/cm2时,Rs达到最小...
[会议论文] 作者:吴瑜光,张通和, 来源:第六届全国固体缺陷会议 年份:1994
用高能沟道背散射分析技术对高能P注入Si、高能P和低能Ge注入Si和高能Si+P注入InP的辐射损伤分布和退火晶格恢复过程进行了分析。...
[会议论文] 作者:张通和,孙贵如, 来源:’94秋季中国材料研讨会 年份:1994
[会议论文] 作者:孙贵和,张通和, 来源:’94秋季中国材料研讨会 年份:1994
[会议论文] 作者:张通和;吴瑜光;, 来源:'2000国际表面工程与防腐蚀技术研讨会 年份:2000
利用金属离子与碳离子双注入可在金属表面形成陶恣化的复合层,取得了抗腐蚀和抗磨损优良特性。 研究了注入剂量和束流密度对这种复合层结构的影响,X射线分析结果表明,双注入可形......
[会议论文] 作者:张通和,孙贵如, 来源:第六届全国固体缺陷会议 年份:1994
[期刊论文] 作者:张通和,吴瑜光,, 来源:北京师范大学学报(自然科学版) 年份:1988
分析了注入As在快速退火中的增强扩散效应,特别分析了注入层中缺陷生成过程所伴随的增强扩散效应。退火中引起高密度缺陷两种过程是:一反冲氧的作用;二高剂量注入As在品格中...
[期刊论文] 作者:吴瑜光,张通和, 来源:中国科学:技术科学英文版 年份:1997
The fractal patterns in implanted samples are observed. Possible correlation of fractal patterns with the annealing temperature and the electrical activation ra...
[会议论文] 作者:王玉霞,张通和, 来源:'96中国材料研讨会 年份:1996
31该文采用C’+〉离子束注入单晶Si(100),经高温真空退火处理的方法制备晶态SiC薄层。注入能量和注入剂量分别为10keV,5×10〈’16〉ions/cm〈’2〉,和35keV,3×10〈’17〉ions/cm〈’2〉,在真空中(2.7mPa),,经700℃ ̄1050℃退火1小时,利用IR,XPS,XRD,TEM,SEM等分析方法,研究......
[期刊论文] 作者:张通和,吴瑜光,刘安东, 来源:北京师范大学学报(自然科学版) 年份:2003
研究了V+C双重离子注入合成纳米结构、相变和抗磨损机制.研究表明,注入后可改变钢的成分,V与Fe原子比最高可达到28%;形成了纳米相弥散强化结构和无序相强化结构.从而提高了钢...
[期刊论文] 作者:王二敏,张通和,等, 来源:航空材料学报 年份:2000
以AgCu10合金为对象,研究和探讨了离子注入提高电接触材料的抗氧化和抗磨损性能并改善电接触微动磨损的技术。试验结果表明,离子注入后的AgCu10合金大大减少了磨损颗粒的产生,降......
[期刊论文] 作者:杨建华,张通和,陈俊, 来源:微细加工技术 年份:1991
利用国内第一台金属蒸汽真空弧(MEVVA)离子源引出的钼离子对H13钢进行了不同束流密度下的注入。根据以碰撞和扩散理论为基础的YJH1程序计算了钼在H13钢中的分布。背散射(RBS)...
[期刊论文] 作者:张通和,吴瑜光,刘安东, 来源:微细加工技术 年份:2003
介绍了V+C双重离子注入钢的合成纳米结构、相变和抗磨损机制。研究表明,V+C离子注入可使H13钢表面的硬度提高70%,摩擦系数下降52%,适合于工业应用。探索了改善H13钢表面摩擦学特性的......
[会议论文] 作者:石万全,伍勇,张通和, 来源:第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会 年份:1997
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